簡要描述：全新外觀設(shè)計(jì)，適配實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)操作半導(dǎo)體顯影機(jī)*進(jìn)的設(shè)計(jì)理念，模塊化設(shè)計(jì)可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制可實(shí)現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制配載精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，提高實(shí)驗(yàn)精度及重復(fù)性
產(chǎn)品型號(hào)：AC200-CTM廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新日期：2024-11-06訪 問 量：2918產(chǎn)品特點(diǎn)
全新外觀設(shè)計(jì)，適配實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)操作
*進(jìn)的設(shè)計(jì)理念，模塊化設(shè)計(jì)
可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷
支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制
可實(shí)現(xiàn)不同功能模塊的自由組合定制
配載精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，提高實(shí)驗(yàn)精度及重復(fù)性
產(chǎn)品參數(shù)
轉(zhuǎn)速范圍：20-10000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm
加速度可調(diào)范圍：20-50000rpm/s
單步時(shí)長：3000s
時(shí)間分辨率：0.1s
適用基片尺寸：4/6/8寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓，非標(biāo)準(zhǔn)基片可定制載物盤
顯影噴嘴距離基片高度可調(diào)，可調(diào)范圍10-50mm
可添加背洗功能（根據(jù)客戶需求而定）
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